同 AWM2000 系列一样，惠斯顿双电桥控制气体流量测量。AWM3000 系列具有放大功能，因此能用于提升增益和将电压偏移引入传感器输出。加热器控制电路和传感桥供电电路位于封装电路板上。

注意：产品损伤

AWM 系列微桥式气体质量流量传感器不适用于测量液体流量，液体流过传感器时会损坏传感器。

• 补偿温度范围

• -25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F]

• 流量/压力范围

• +200 SLPM

• ±1000 sccm (1 SLPM)

• 0 mbar 至 1.25 mbar [0 H20 至 0.5 H20]

• ±5.0 mbar [2.0 英寸 H20]

• +30.0 sccm

• 0 mbar 至 5.0 mbar [0 H20 至 2.0 H20]

• 响应时间

• 典型值 1 ms，最大 3 ms

• 最大 60 ms

• 最大 3 ms

• 电源电压

• 最小 8.0 Vdc，典型值 10.0 Vdc，最大 15.0 Vdc

• 8.0 Vdc 至 15.0 Vdc

• 10.0 Vdc ±0.01 Vdc

• UNSPSC 代码

• 41111931

• 冲击

• 100 g 峰值 (5 drops, 6 axes)

• 输出温漂

• ±32% 读数

• ±24% 读数

• ±4% 满量程

• - 31% 读数至 24% 读数

• ±5% 读数

• 零位

• 1 Vdc ±0.08 Vdc

• 1 Vdc ±0.05 Vdc

• 4 mA dc ±0.4 mA dc

• 1 Vdc ±0.10 Vdc

• 4 mA dc ±0.3 mA dc

• 3 Vdc 至 0.050 Vdc

• 端口类型

• 直

• 信号调节

• 放大

• UNSPSC 商品

• 41111931 流量传感器

• 可重复性

• ±0.50% 读数

• ±1% 读数

• 调整点的输出电压

• 在 1000 sccm 时，5.0 Vdc (1.0 SLPM)

• 5.0 Vdc ±0.15 Vdc

• 在水中 2.0 时，5.0 Vdc

• 20.0 mA dc ±1.0 mA dc

• 在 25 sccm 时，3.4 Vdc

• 在 200 sccm 时，5.0 Vdc

• 20.0 mA dc ±1 mA dc

• 存储温度

• -40°C 至 90°C [-40°F 至 194°F]

• 介质兼容性

• 仅干燥气体

• 重量

• 10.8 g

• 系列名称

• AWM3000

• 工作温度

• -25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F]

• 功耗

• 典型值 50 mW

• 典型值 100 mW

• 典型值 50 mW，最大 60 mW

• 整个温度范围内的零位

• ±25.0 mV dc

• ±0.050 Vdc（最大）

• ±100 mV dc

• ±2.0 mA dc（最大）

• 共模压力

• 25 psi