同 AWM2000 系列一样，惠斯顿双电桥控制气体流量测量。AWM3000 系列具有放大功能，因此能用于提升增益和将电压偏移引入传感器输出。加热器控制电路和传感桥供电电路位于封装电路板上。
注意：产品损伤
AWM 系列微桥式气体质量流量传感器不适用于测量液体流量，液体流过传感器时会损坏传感器。
补偿温度范围
-25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F]

流量/压力范围
+200 SLPM
±1000 sccm (1 SLPM)
0 mbar 至 1.25 mbar [0 H20 至 0.5 H20]
±5.0 mbar [2.0 英寸 H20]
+30.0 sccm
0 mbar 至 5.0 mbar [0 H20 至 2.0 H20]

响应时间
典型值 1 ms，最大 3 ms
最大 60 ms
最大 3 ms

电源电压
最小 8.0 Vdc，典型值 10.0 Vdc，最大 15.0 Vdc
8.0 Vdc 至 15.0 Vdc
10.0 Vdc ±0.01 Vdc

UNSPSC 代码
41111931

冲击
100 g 峰值 (5 drops, 6 axes)

输出温漂
±32% 读数
±24% 读数
±4% 满量程
- 31% 读数至 24% 读数
±5% 读数

零位
1 Vdc ±0.08 Vdc
1 Vdc ±0.05 Vdc
4 mA dc ±0.4 mA dc
1 Vdc ±0.10 Vdc
4 mA dc ±0.3 mA dc
3 Vdc 至 0.050 Vdc

端口类型
直

信号调节
放大

UNSPSC 商品
41111931 流量传感器

可重复性
±0.50% 读数
±1% 读数

调整点的输出电压
在 1000... [详细介绍]